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1 |
平板源的多衬度成像性能测试平台 |
1.00 |
套 |
无公开品牌 |
否 |
一、硬件紧固和装配要求
1、微纳平台的设计、加工以及其与旋转台的装配，实现移动旋转平台功能。
2、光栅支撑架可实现对光栅的支撑、固定，材质采用七系铝合金；
3、光栅支撑架固定于微纳运动平台；
4、成像系统的光路高度（光栅中心高度）为37 cm，可上下调节高度大于等于2 cm；
5、微纳运动可支持PC端二次编程控制，并适配电源线。
二、六轴纳米尺度定位精度及要求
1. XY轴步进行程[mm]：大于等于30；
2. Z轴步进行程[mm]：大于等于10；
3. 偏摆1[°]：大于等于±5；
4. 偏摆2[°]：大于等于±6°；
5. 旋转[°]：大于等于360°；
6. 尺寸[mm]：小于等于50*50*120；
7. 顶部最大负载[N]：大于等于3；
8. XYZ轴 闭环最大速度[mm/s]：大于等于1；
9. XYZ轴 闭环定位分辨率[nm]：小于等于5；
10. 偏摆台 闭环角速度[°/s]：大于等于1；
11. 偏摆台 闭环定位分辨率[μ°]：小于等于5；
12. 旋转台 闭环角速度[°/s]：大于等于5；
13. 旋转台 闭环定位分辨率[μ°]：小于等于20；
三、载物旋转台精度及要求：
1. 旋转行程[°]：大于等于360；
2. 最大法向力[N]：大于等于10；
3. 闭环角速度[°/s] ：大于等于5；
4. 闭环定位分辨率[μ°] ：小于等于20； |
