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CVD化学气相沉积系统采购

竞价公告(JJ21112112325673)

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说明：各有关当事人对竞价公告内容有异议的，可以在竞价截止时间前通过规定途径提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。

一、基本信息

二、资格条件

资格条件：无

三、商务要求

付款方式：货到验收合格后100%支付
交付时间：签订合同后免费送货上门安装设备天交付。
交付地址：华南师范大学大学城校区理四栋525。
备注：需要包含温度、时间和气体流量的数字LCD控制系统。

四、技术要求

序号	标的名称	数量	单位	品牌	是否限定品牌	技术要求
1	化学气相沉积系统（CVD）	1.00	台	贝意克	否	1. 温度：最高工作温度1200℃，连续工作温度1100℃ 2. 管式炉直径：直径50毫米 3. 炉区：双温区，加热去长度：200毫米和200毫米（两个独立的炉子，可滑动的）。 4. 气路：2路（氮气和氩气）。 5. 流量计：质子质量流量计0-500 SCCM 6. 最低运行气压压力： 0.5 Pa 7. 真空泵：机械泵 8. 交货时间：订货后30天。 9. 质保期：至少12个月 10. 工作电压：220V 11. 包括的部分：上面部分（50毫米石英管与2个炉子连接在滑动台上）+ 底部架子/桌子 12. 免费安装服务 13. 温度、时间和气体流量的数字LCD控制系统

五、附件

序号	附件名称	上传时间	大小	操作

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